特許

J-GLOBAL ID：200903032785315850

電子線照射装置

発明者： 三尾 圭吾 ,  荒井 秀幸
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-151468
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341098
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 高い電子線出力を得ることができ、しかも信頼性を高められるようにした電子線照射装置を提供する。【解決手段】 基端部13aが閉塞し且つ先端部13bが開口した真空胴13と、真空胴13の内方基端部13a寄りに配置された陰極3と、真空胴13の内方先端部13b寄りに真空胴13に対して略同軸に配置された環状の陽極4と、陰極3及び陽極4に接続された高圧電源5と、真空胴13に接続された真空ポンプ8とを有しており、真空胴13の先端部13bの前側に外筒14を延設し、外筒14の内部に、真空胴13の軸心上に小孔15を備えた仕切板16を軸線方向に所要の間隔を有して設けることにより複数の減圧室17を形成し、減圧室17の夫々に、排気ポンプ18を接続し、排気ポンプ18の作動により前端側の減圧室17から真空胴13側に向けて真空度を順次高める。

請求項（抜粋）：

基端部が閉塞し且つ先端部が開口した真空胴と、該真空胴の内方基端部寄りに配置された陰極と、真空胴の内方先端部寄りに真空胴に対して略同軸に配置された環状の陽極と、陰極及び陽極に接続された高圧電源と、真空胴に接続された真空ポンプとを有する電子線照射装置であって、前記真空胴の先端部の前側に外筒を延設し、該外筒の内部に、真空胴の軸心上に小孔を備えた仕切板を軸線方向に所要の間隔を有して設けることにより複数の減圧室を形成し、該減圧室の夫々に、排気ポンプを接続し、排気ポンプの作動により前端側の減圧室から真空胴側に向けて真空度を順次高めるようにしたことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (5件)：

G21K 5/00 ,  B01J 19/12 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/30 ,  A61N 5/10

FI (6件)：

G21K 5/00 W ,  G21K 5/00 A ,  B01J 19/12 C ,  G21K 5/04 E ,  H01J 37/30 Z ,  A61N 5/10 E

Fターム (18件)：

4C082AA01 ,  4C082AC06 ,  4C082AG02 ,  4C082AG12 ,  4C082AR20 ,  4G075BD08 ,  4G075CA39 ,  4G075CA42 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EA02 ,  4G075EB31 ,  4G075EC09 ,  4G075EC21 ,  4G075EE36 ,  4G075FA01 ,  4G075FC01 ,  5C034AA06