特許
J-GLOBAL ID：200903032785874239
半導体試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159970
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006860
出願日： 1997年06月17日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】DUTの電源電流測定における大電流測定レンジのレンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可能な電源電流/電圧変換を実現する半導体試験装置のプログラマブル電源を提供する。【解決手段】常時電源電流を流す第1の抵抗に直列に挿入して接続する第1の制御スイッチを具備し、第1の制御スイッチを常時ON状態に駆動する手段を具備する。
請求項（抜粋）：
被試験デバイス(DUT)の電源電流を流す為の並列接続構成とする少なくとも第1の電源電流/電圧変換用抵抗と第2の電源電流/電圧変換用抵抗の2種の抵抗を有し、該第1の抵抗には常時電源電流を流し、該第2の抵抗には直列接続して電源電流の分流を開閉制御する第2の制御スイッチを有し、前述の少なくとも該第1、第2の抵抗の構成による電源電流の測定レンジ切替え手段を内蔵するプログラマブル電源により、DUTへ電源を供給して該DUTに流れる電源電流を測定する半導体試験装置において、常時電源電流を流す該第1の抵抗に直列に挿入して接続する第1の制御スイッチと、該第1の制御スイッチを常時ON状態に駆動する手段と、以上をプログラマブル電源に具備していることを特徴とした半導体試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 M
, G01R 15/08 Z
