特許

J-GLOBAL ID：200903032788121886

カンチレバー型センサ

発明者： 保坂 純男 ,  曾根 逸人 ,  岡野 晴樹 ,  岩崎 正美
出願人/特許権者： 国立大学法人群馬大学 ,  株式会社東京測器研究所
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-105324
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284391
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【解決課題】 計測対象物に関する物理量を簡易に計測することができるようにする。【解決手段】 カンチレバー型センサは、台座12に連続するように形成されたカンチレバー10を備え、カンチレバー10の台座12との境界部分を含む所定領域には、歪み抵抗素子16が埋め込まれ、抵抗値の変化からカンチレバー10の振動状態を検出する。歪み抵抗素子16の電極には、歪み抵抗素子16の抵抗値の変化を検出するための検出回路18が接続されており、歪み抵抗素子16の抵抗変化を電圧変化として検出し、検出した信号をパーソナルコンピュータ26へ出力する。また、パーソナルコンピュータ26は加振回路20に接続されており、インパルス加振制御信号を加振回路20へ出力し、加振回路20からアクチュエータ14へ発振信号を出力し、アクチュエータ14によってカンチレバー12をインパルス加振させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

カンチレバーと、 前記カンチレバーを振動させるアクチュエータと、 前記カンチレバーの振動状態を検出するように前記カンチレバーに設けられたセンサと、 前記アクチュエータを制御して、前記カンチレバーをパルス加振させる制御手段と、 前記センサで検出されたパルス応答の変化に基づいて、計測対象物に関する物理量を計測する計測手段と、 を含むカンチレバー型センサ。

IPC (3件)：

G01N 11/16 ,  G01D 21/00 ,  G01G 3/16

FI (3件)：

G01N11/16 A ,  G01D21/00 M ,  G01G3/16

Fターム (11件)：

2F076BA01 ,  2F076BD02 ,  2F076BD04 ,  2F076BD10 ,  2F076BD13 ,  2F076BD16 ,  2F076BE01 ,  2F076BE02 ,  2F076BE04 ,  2F076BE05 ,  2F076BE12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• マイクロカンチレバーレオメーター
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-527772   出願人：マルバニー,ポール,チャールズ, セダー,ジョン,エリー
• 特表昭61-502163