特許

J-GLOBAL ID：200903032788755605

ファラデー回転子

発明者： 石蔵 賢二 ,  平松 聖生 ,  白井 一志 ,  武田 憲夫
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205996
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048421
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【目的】 耐湿性に優れた反射防止膜を有するビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶を用いたファラデー回転子を提供する。【解決手段】 大気層側から二酸化珪素、五酸化タンタル、二酸化珪素の順に構成された3層の薄膜を、ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜上に堆積させ、反射防止膜としてなる。【効果】 85°C、85%RHの条件の下で 5,000時間放置しても、特性、外観が全く変化しない反射防止膜を有するファラデー回転子が得られる。

請求項（抜粋）：

ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜に、反射防止膜として、大気層側から二酸化珪素、五酸化タンタル、二酸化珪素の順番に形成してなることを特徴とするファラデー回転子。

IPC (3件)：

G02B 5/30 ,  G02B 1/11 ,  G01B 11/00

FI (3件)：

G02B 5/30 ,  G01B 11/00 Z ,  G02B 1/10 A