特許

J-GLOBAL ID：200903032791924841

超純粋窒素の製造方法及び装置

発明者： ルイス・ジヤン ,  モラル・ベルトラン ,  トネリエ・ジヤン-イベ ,  ガリイ・ダニエル
出願人/特許権者： ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-088165
公開番号（公開出願番号）：特開平5-116914
出願日： 1991年04月19日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 少なくとも一酸化炭素(CO)及び/又は水素(H2)不純物を含む空気を、銅(Cu)及び/又はルテニウム(Ru)及び/又はロジウム(Rh)及び/又はパラジウム(Pd)及び/又はオスミウム(Os)及び/又はイリジウム(Ir)及び/又は白金(Pt)から選ばれる少なくとも1種の金属元素の粒子を高い表面積を有する粒状材料からなる支持体上に支持してなり、上記金属元素を支持体上に保持させる方法がイオン交換及び/又は含浸によって為された床上に通して、除去すべき上記の2種の成分の少なくとも1種を実質的に除去することを特徴とする、100ppb(10億分の1)以下の不純物を含む超純粋窒素の製造方法。【効果】 窒素或は蒸留すべき空気をCO2及びH2Oを除去するための工程を加えて超純粋窒素を製造することが出来、例えば電子工業に使用される超純粋窒素の製造に応用される。

請求項（抜粋）：

少なくとも一酸化炭素(CO)及び/又は水素(H2)不純物を含む空気を、銅(Cu)及び/又はルテニウム(Ru)及び/又はロジウム(Rh)及び/又はパラジウム(Pd)及び/又はオスミウム(Os)及び/又はイリジウム(Ir)及び/又は白金(Pt)から選ばれる少なくとも1種の金属元素の粒子を高い表面積を有する粒状材料からなる支持体上に支持してなり、上記金属元素を支持体上に保持させる方法がイオン交換及び/又は含浸によって為された床上に通して、除去すべき上記の2種の成分の少なくとも1種を上記の空気から実質的に除去することを特徴とする、蒸留によって空気の分離を行う超純粋窒素の製造方法。

IPC (6件)：

C01B 21/04 ,  B01D 53/02 ,  B01D 53/04 ,  B01J 20/02 ,  B01J 20/18 ,  F25J 3/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-225568
  
• 特開昭63-162509