特許

J-GLOBAL ID：200903032793853470

EUV液滴発生器用標的かじ取りシステム

発明者： マイケル・ビー・ペタッチ ,  スティーヴン・ダブリュー・フォーナカ ,  ロッコ・エイ・オーシニ
出願人/特許権者： ノースロップ・グラマン・スペイス・アンド・ミッション・システムズ・コーポレーション
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  佐久間 滋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150266
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111907
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】各レーザパルスから100マイクロ秒以内に液滴を生成する液滴発生器を提供する。【解決手段】かじ取り装置74は、液滴発生器52により発生した液滴68の流れ66をかじ取りして、液滴68がレーザビーム78により気化される標的場所76に向けられるようにする。液滴68の流れ66の方向は検出装置84により検出される。検出装置84は、かじ取り装置74の向きを制御するアクチュエータ88に信号を送り、液滴68が標的場所76に向けられるようにする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

極紫外(EUV;extreme ultraviolet)線源であって、 初期経路に沿って液滴の流れを発生する液滴発生器と、 該液滴を該初期経路から標的経路に偏向させるかじ取り装置と、 該液滴の流れの位置を検出するセンサと、 該センサからの信号に応答し、該かじ取り板の向きを変えて、該液滴が該標的経路上の標的場所へと偏向されるようにするアクチュエータとを備える、線源。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02

FI (5件)：

H01L21/30 531S ,  G03F7/20 503 ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  H05G1/00 K

Fターム (8件)：

2H097BB03 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  5F046GC05