特許
J-GLOBAL ID：200903032797206282
感光性樹脂の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-317637
公開番号（公開出願番号）：特開平5-170901
出願日： 1991年12月02日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 テトラカルボン酸二無水物と式(1)で示されるアクリル基又はメタクリル基を有するアルコール化合物とを予め反応させたジカルボン酸成分100モル%と、式(2)で示されるジアミノシロキサン0.5〜50モル%及び芳香族ジアミン99.5〜50モル%とからなるジアミン成分とを、縮合剤としてカルボジイミド類を用いて反応させるに当たり、全酸成分に対し、所要のジアミン成分とカルボジイミド類とを所定量ずつ多段に添加反応させ、且つジアミノシロキサンは添加最終段より前の段階までに添加を終了するようにする感光性樹脂の製造方法。【効果】 高分子量のポリアミドを得ることができ、極めて高感度で、優れた密着性と低弾性率の硬化膜が得られる感光性樹脂を得ることができる。
請求項（抜粋）：
テトラカルボン酸二無水物と式(1)で示されるアクリル基又はメタクリル基を有するアルコール化合物とを予め反応させたジカルボン酸成分100モル%と、式(2)で示されるジアミノシロキサン0.5〜50モル%及び芳香族ジアミン99.5〜50モル%とからなるジアミン成分とを、縮合剤としてカルボジイミド類を用いて反応させるに当たり、全酸成分に対し、所要のジアミン成分とカルボジイミド類とを所定量ずつ多段に添加反応させ、且つジアミノシロキサンは添加最終段より前の段階までに添加を終了するようにすることを特徴とする感光性樹脂の製造方法。【化1】【化2】
IPC (8件)：
C08G 69/32 NSU
, C08G 73/10 NTF
, G03F 7/038 501
, G03F 7/038 504
, C08F299/02 MRU
, C08F299/08 MRY
, G03F 7/075 511
, H01L 21/027
