特許
J-GLOBAL ID：200903032797216814
拡散装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-283530
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121388
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 半導体基板に不純物を拡散するに際し、ウエハー面内のシート抵抗分布を均一にする。【解決手段】 半導体基板に不純物を拡散する拡散装置である。この拡散装置は不純物ガスを拡散装置から排出するためのガス排出口を複数個有する。複数個の排出口は対称的な位置に設けられることが好ましい。
請求項（抜粋）：
半導体基板の所定の箇所に不純物を拡散する拡散装置において、不純物ガスを前記拡散装置から排出するためのガス排出口を複数個有することを特徴とする拡散装置。
引用特許：
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