特許
J-GLOBAL ID：200903032800987878
感光性樹脂組成物積層体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020036
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230579
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 感度、解像度、密着性等が優れた感光性樹脂組成物積層体を提供する。【構成】 支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積層体。
請求項（抜粋）：
支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積層体。
IPC (6件)：
G03F 7/09 501
, B32B 27/00
, G03F 7/004 512
, H01L 21/027
, H05K 3/00
, C23F 1/00 102
