特許

J-GLOBAL ID：200903032800987878

感光性樹脂組成物積層体

発明者： 川口 卓 ,  正岡 和隆 ,  木村 仁子
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020036
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230579
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 感度、解像度、密着性等が優れた感光性樹脂組成物積層体を提供する。【構成】 支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積層体。

請求項（抜粋）：

支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積層体。

IPC (6件)：

G03F 7/09 501 ,  B32B 27/00 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  C23F 1/00 102

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-262156
  
• 特開平3-083625