特許
J-GLOBAL ID:200903032811917081
割断方法、割断装置及びチップ材料
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
薄田 利幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-179046
公開番号(公開出願番号):特開平9-029472
出願日: 1995年07月14日
公開日(公表日): 1997年02月04日
要約:
【要約】【目的】レーザによる基板の割断方法で、割断起点付近の割断方向の精度を向上させる方法を提供すること。【構成】セラミック基板2の裏面をエッジ型治具6Aや半球型治具6Bで冷却し、表面にレーザ光1を照射すると、初期亀裂が発生する。この初期亀裂から所定の方向にレーザ照射して割断を行う。
請求項(抜粋):
少なくとも被処理基板の割断開始点を局所的に冷却し、上記割断開始点をレーザ照射して初期亀裂を形成し、レーザ照射により、上記初期亀裂から割断を行うことを特徴とする割断方法。
IPC (6件):
B23K 26/00 320
, B23K 26/00
, B23K 31/00
, B28D 5/00
, H01L 21/301
, H01S 3/104
FI (8件):
B23K 26/00 320 E
, B23K 26/00 M
, B23K 26/00 G
, B23K 31/00 J
, B28D 5/00 A
, H01S 3/104
, H01L 21/78 T
, H01L 21/78 B
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開平3-000489
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特開平1-321085
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特開昭56-129340
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特開平4-349133
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切断加工装置の制御方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-116328
出願人:株式会社小松製作所
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特開平3-000489
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特開平1-321085
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特開昭56-129340
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特開平4-349133
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