特許
J-GLOBAL ID：200903032826624250
縮小投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186829
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036986
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】 縮小投影露光装置内でフォトマスクの異物検査を行う場合に光透過性の異物を検出できるようにする。【構成】 紫外線を発光する励起光光源1と、励起光波長域以外の光を遮光する励起光照射フィルタ4と、蛍光波長域以外の光を遮光する蛍光透過フィルタ7と、蛍光分光光度器8と、異物検査処理部9とを備え、フォトマスク5の表面に付着した光透過性異物6に励起光を照射し、異物が発光する蛍光を蛍光分光光度器8で受光して異物を検出する。
請求項（抜粋）：
励起光を発する励起光光源と、この励起光光源からの励起光を被検査物上を走査して照射するスキャナに取付けられた振動ミラーと、被検査物上の異物によって散乱された散乱光を受光する受光手段と、この受光手段が受光し検出した信号に基づき異物を識別する異物検査処理部とを備えた縮小投影露光装置において、前記励起光光源は紫外線を発する光源であり、前記受光手段は被検査物の発する蛍光を検出する手段を含むことを特徴とする縮小投影露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G01B 11/30
, G01N 21/64
, G01N 21/88
, G03F 1/08
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 301 V
