特許
J-GLOBAL ID:200903032827669142
枚葉型ウエハ洗浄装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-175965
公開番号(公開出願番号):特開平10-004076
出願日: 1996年06月15日
公開日(公表日): 1998年01月06日
要約:
【要約】【課題】 装置の小型化が図れ機構が簡単でパーティクルの発生を少なくし、また経済的でパーティクルの洗浄液内への持込みを防止し、さらには均一な洗浄を可能にする。【解決手段】 洗浄液Wを収容する洗浄内槽2と、洗浄するウエハ鏡面8aを下方に向けたウエハ8の裏面8bを吸着固定する洗浄内槽2上に設けたバキュームチャック9と、洗浄内槽2に洗浄液Wを供給し回転撹拌する吹出口4a,4bを有する洗浄液供給管4とを具備した。
請求項(抜粋):
洗浄液を収容する上部開口の洗浄槽と、洗浄するウエハ鏡面を下方に向けたウエハの裏面を吸着固定する前記洗浄槽上に設けたバキュームチャックと、洗浄槽に洗浄液を供給し回転撹拌する該洗浄槽に取り付けた吹出口を有する洗浄液供給管とを具備したことを特徴とする枚葉型ウエハ洗浄装置。
IPC (3件):
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/68
FI (3件):
H01L 21/304 341 T
, H01L 21/304 341 C
, H01L 21/68 P
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