特許

J-GLOBAL ID：200903032828570948

堆積リングの回り止め装置

発明者： アレン フラニガン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-118098
公開番号（公開出願番号）：特開平10-056055
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 基板支持体に対して堆積リングの回転を制限する装置を提供すること。【解決手段】 堆積リング102が基板支持体100に回転可能に取付けられている。本装置の第1実施形態では、回り止めピン114が、静電チャック等の基板支持体100を取り囲む堆積リング102に取付けられる。回り止めブラケット118が一端部120で基板支持体100に取付けられる。他端部122は回り止めピン114に取付けられる。このように、堆積リング102は、堆積リング102と基板支持体100の熱膨張になじむため多少の自由度を持っているが、回り止めピン114とブラケット118の相互作用により、堆積リング102が基板支持体100に固着する点までは回転しないようになる。

請求項（抜粋）：

堆積リングによって取り囲まれる基板支持体に対して、前記堆積リングの回転を制限するための装置であって、前記堆積リングに取付けられたピンと、前記基板支持体に取付けられ、且つ、前記結合点提供手段に結合されたブラケットと、を備えることを特徴とする装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/44

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  C23C 14/50 D ,  C23C 16/44 B