特許
J-GLOBAL ID：200903032830961091
プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159369
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074107
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 反応室内を簡単にし、プラズマの生成効果を向上し、長期に亘って清掃することなく被処理物を処理し、メンテナンスコストを低く、稼動率を高める。【構成】 反応室2を画成する真空容器1の被処理物処理台3に対向する室壁を、凹部22を有する絶縁板23で構成し、この絶縁板23の凹部22内に、プラズマ発生コイル24を配設し、該プラズマ発生コイル24に高周波電源7を接続してなる。
請求項（抜粋）：
反応室(2)を画成する真空容器(1)の被処理物処理台(3)に対向する室壁を、凹部(22)を有する絶縁板(23)で構成し、この絶縁板(23)の凹部(22)内に、プラズマ発生コイル(24)を配設し、該プラズマ発生コイル(24)に高周波電源(7)を接続してなることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C23C 16/50
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
, C23F 4/00
