特許
J-GLOBAL ID：200903032839284513
高周波プラズマヒータおよびその運転方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073634
公開番号（公開出願番号）：特開平6-290896
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】減圧装置(真空ポンプや真空チャンバ)を不要とし、多量の超高温ガスを得るため、常圧で高周波無極放電によりプラズマを発生させ、プラズマを保持しながらプラズマトーチ内の圧力を高めて、ガス流速を著しく増すことなく多量の超高温ガスを得る。【構成】プラズマトーチ2にコロナ放電電極11を設け、微小な放電を生じさせそこへマイクロ波電界変換器8で高周波電力を重畳し、放電部1にプラズマを発生し、それを保持しながら供給ガス圧力を上げ、超高温ガスを得る。【効果】効率よく多量の純度の高い超高温ガスを、少ない設備コストで得ることができる。
請求項（抜粋）：
ガスを一方から供給し、そのガスが放電によって加熱されることでプラズマを発生し、さらに、そのプラズマを維持する放電部を有するプラズマトーチと、プラズマトーチの放電部へ高周波誘導によって、プラズマに電力エネルギーを供給する高周波電力供給手段と、プラズマトーチの放電部へプラズマ化されるガスを供給するプラズマガス供給手段とを有する高周波プラズマヒータにおいて、プラズマトーチの放電部で高周波放電を開始するため、放電部に補助的放電を発生し、その放電開始電圧を下げるプラズマ着火手段と、プラズマトーチの放電部で発生したプラズマとその内周壁面との間に、ガスを供給するために、プラズマトーチ内部に連通して、その外周面に接合されたシースガス供給路と、シースガス供給路へガスを供給するシースガス供給手段とをさらに有し、プラズマガス供給手段は、常圧以上の圧力でプラズマガスを供給することを特徴とする高周波プラズマヒータ。
IPC (2件)：
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