特許
J-GLOBAL ID：200903032855323510
非平衡プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054201
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252098
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 体積放電型のプラズマ放電を実現して放電体の発熱を抑制できる、非平衡プラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】 網体からなる板状の導電体と、その両面に設けた誘電体43とで、電極体2を構成し、2個の電極体2を、誘電体43の面が隙間5を隔てて対向するよう組み合わせて、放電体1を構成し、放電体1を1個以上積層して、構成されており、放電体1の隙間5を反応物のみが通過し且つ隙間5で非平衡プラズマが発生するようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発生装置である。
請求項（抜粋）：
網体又は細線の絡んだもの又はその両方からなる板状の導電体と、その両面に設けた誘電体とで、電極体を構成し、2個の電極体を、誘電体の面が隙間を隔てて対向するよう組み合わせて、放電体を構成し、放電体を1個以上積層して、構成されており、放電体の上記隙間を反応物のみが通過し且つ上記隙間で非平衡プラズマが発生するようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4G075AA07
, 4G075CA15
, 4G075CA47
, 4G075EC21
, 4G075EE12
, 4G075FA16
, 4G075FB02
, 4G075FB04
, 4G075FB06
, 4G075FC11
, 4G075FC15
