特許

J-GLOBAL ID：200903032857206651

貼り合わせ装置および貼り合わせ方法

発明者： 濱谷 英樹
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 橋本 剛 ,  小林 博通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-116799
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325547
出願日： 2003年04月22日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】巾狭の1/2波長板2を基板1に対して、気泡が入らぬよう簡単な装置によって複数枚同時に且つ平行に貼り合わせるようにする。【解決手段】レール12a,12bに沿って移動可能に配設された1軸ステージ14上に設けた吸着テーブル16上に、基板1を吸着保持する。柱11の上部の軸支部19aに回転可能に設けられた旋回板20に、旋回テーブル22と弾性ローラ21を配設し、それらの上に1/2波長板2を設けて例えば吸着により保持する。その吸着した1/2波長板2を基板1に対して例えば4度の角度をもって対向させ、第2のエアーシリンダー23の駆動軸端を旋回作用片19に作用させて弾性ローラ21を基板1側に押圧する。この状態で吸着テーブル16をレール12a,12bに沿って移動させて、基板1と1/2波長板2を貼り合わせる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、 回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、 前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段と、 前記筒体を、所定圧力で前記第1の平面側に押圧する加圧手段と、 前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第1の移動手段と、 前記第1の保持手段を前記筒体の回転中心軸と平行な方向に移動させる第2の移動手段と を備えたことを特徴とする貼り合わせ装置。

IPC (4件)：

G02B7/00 ,  B29C65/78 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13363

FI (4件)：

G02B7/00 F ,  B29C65/78 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13363

Fターム (26件)：

2H043AE02 ,  2H043AE23 ,  2H049BA05 ,  2H049BA06 ,  2H049BB03 ,  2H049BB62 ,  2H049BC14 ,  2H049BC22 ,  2H091FA07 ,  2H091FA11 ,  2H091FC29 ,  2H091FD10 ,  2H091FD15 ,  2H091FD18 ,  4F211AG03 ,  4F211AH73 ,  4F211AR07 ,  4F211TA03 ,  4F211TC02 ,  4F211TD11 ,  4F211TJ13 ,  4F211TJ14 ,  4F211TJ15 ,  4F211TJ23 ,  4F211TJ30 ,  4F211TQ03