特許

J-GLOBAL ID：200903032859091274

ダイシング方法および装置

発明者： 石垣 孝司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東部セミコンダクタ株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031440
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223573
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 非接触にてブレード送り量の補正値を求める。【解決手段】 ウエハ1に対しブレード19が保持面11の方向に送られてブレードが回転されながら往復動されてウエハがダイシングされるダイシング装置は、保持面11までの距離を測定して保持面の現在位置11aと基準時位置11oとの誤差ΔAを測定する測距器20と、ブレード19が非接触センサ22に検出されるまでの送り量でブレード切っ先の現在位置19bと基準時位置19oとの誤差ΔBを測定するCPU21とを備えている。保持面の現在位置と基準時位置との誤差ΔAと、ブレードの切っ先の現在位置と基準時位置との誤差ΔBとの和に基づきブレード19の送り量の補正値が求められる。【効果】 求めた補正値でブレード送り量を補正してセットアップ後のブレードの切り込み量は設定値を維持できるため、所期の切り込み量を維持できる。

請求項（抜粋）：

保持面に保持された半導体ウエハに対してブレードが保持面方向に送られて、ブレードが回転されながら半導体ウエハに対して相対的に往復移動されて半導体ウエハがダイシングされるダイシング方法において、前記保持面の現在の位置と基準時の位置との誤差と、前記ブレードの切っ先の現在の位置と基準時の位置との誤差との和に基づいて、前記ブレードの送り量の補正値が求められることを特徴とするダイシング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B23Q 17/22

FI (3件)：

H01L 21/78 Q ,  B23Q 17/22 D ,  H01L 21/78 F