特許

J-GLOBAL ID：200903032867915553

ロードロック装置とその運転方法

発明者： 北川 淳一
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-067099
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270663
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】 窒素ガスの無駄が少なくて運転コストが安いロードロック装置を提供すること。【解決手段】 第1ロードロック室L1に、第1供給バルブV1が介設されて窒素ガスを供給する第1供給通路11を接続し、室内のガスを排出する第1排出通路12を接続する。第2ロードロック室L2に、第2供給バルブV3が介設されて窒素ガスを供給する第2供給通路13を接続し、室内のガスを排出する第2排出通路14を接続する。第1供給バルブV1と第1ロードロック室L1との間と、第2供給バルブV3と第2ロードロック室L2との間を、均圧バルブV5が介設された均圧通路15で接続する。均圧バルブV5を開いて、未処理のウェハを収容する大気圧の第1ロードロック室L1内の窒素ガスを、均圧通路15を介して、処理済のウェハを収容する略真空の第2ロードロック室L2に導く。

請求項（抜粋）：

未処理ウェハを、外部から真空搬送室(2)に搬入する際に経由させる第1ロードロック室(L1)と、処理済ウェハを、上記真空搬送室(2)から外部に取り出す際に経由させる第2ロードロック室(L2)と、上記第1ロードロック室(L1)と第2ロードロック室(L2)とを接続する均圧通路(15)と、上記均圧通路(15)に介設した均圧バルブ(V5)とを備えることを特徴とするロードロック装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/302 B

Fターム (18件)：

5F004AA16 ,  5F004BA00 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA15 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F045AA20 ,  5F045AC15 ,  5F045BB08 ,  5F045EB08 ,  5F045EB12 ,  5F045EN04