特許
J-GLOBAL ID：200903032871103148
表面形状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043764
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258004
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 変更した触針に対応させてバランスウエイトを最適位置に自動的に位置決めして、短時間でバランスウエイトを位置決めすることを目的とする。【構成】 揺動自在に支持されたアーム34に移動自在にバランスウエイト48が設けられると共にアーム34にZ軸検出器40が設けられ、Z軸検出器40で触針62の変位量を検出してワーク64の表面形状を測定する表面形状測定機28において、モータ44でバランスウエイト48を移動し、モータ44はバランス制御回路56で制御される。さらに、バランス制御回路56はモータ44を制御して、アーム34の釣合いがとれた位置であって、Z軸検出器40が検出した触針62の変位量が0になる位置にバランスウエイト48を位置決めする。従って、触針62を変更する場合のバランスウエイト48の最適位置への位置決めを自動的に行う。
請求項（抜粋）：
支点を介して揺動自在に支持されたアーム部材の一端に触針が設けられると共に前記アーム部材の他端にバランスウエイトが移動自在に設けられ、前記触針の変位量を検出手段で検出して被測定物の表面形状を測定する表面形状測定機において、前記バランスウエイトを移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御して前記バランスウエイトを移動し、前記アーム部材の釣合いがとれた位置に前記バランスウエイトを位置決め停止させる制御部と、を備えたことを特徴とする表面形状測定機。
IPC (3件)：
G01B 5/20
, G01B 5/28 102
, G01B 21/30 102
