真空排気装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213110
公開番号（公開出願番号）：特開2001-207984
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】差圧による動力を減少させることにより、吸気側の圧力が到達圧力或はある程度の真空であるときエネルギー効率の高い真空排気装置を提供する。【解決手段】粗引ポンプBとブースタポンプAとを備えた真空排気装置100において、粗引ポンプBとブースタポンプAをそれぞれスクリュー真空ポンプで構成し、粗引ポンプBの設計排気速度を、ブースタポンプAの設計排気速度より十分小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとし、ブースタポンプAのスクリュー巻数を、粗引ポンプBのスクリュー巻数より少なくした。

請求項（抜粋）：

粗引ポンプとブースタポンプとを備えた真空排気装置において、粗引ポンプとブースタポンプをそれぞれスクリュー真空ポンプで構成し、粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度を、ブースタスクリュー真空ポンプの設計排気速度より十分小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとし、ブースタスクリュー真空ポンプのスクリュー巻数を、粗引スクリュー真空ポンプのスクリュー巻数より少なくしたことを特徴とする真空排気装置。

IPC (6件)：

F04C 25/02 , F04B 49/06 , F04B 49/06 341 , F04C 18/16 , F04C 23/00 , F04C 29/10 311

FI (6件)：

F04C 25/02 M , F04B 49/06 341 J , F04C 18/16 A , F04C 23/00 F , F04C 29/10 311 C , F04B 49/02 331 B

Fターム (28件)：

3H029AA03 , 3H029AA18 , 3H029AA24 , 3H029AB06 , 3H029AB08 , 3H029BB34 , 3H029BB42 , 3H029BB54 , 3H029CC03 , 3H029CC05 , 3H029CC09 , 3H029CC54 , 3H029CC62 , 3H029CC65 , 3H045AA05 , 3H045AA16 , 3H045AA26 , 3H045AA38 , 3H045BA03 , 3H045BA33 , 3H045CA02 , 3H045DA01 , 3H045DA05 , 3H045DA32 , 3H045EA13 , 3H045EA26 , 3H045EA34 , 3H045EA42

引用特許：

審査官引用 (13件)

真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-165360 出願人：ナブテスコ株式会社
多段真空ポンプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-194822 出願人：株式会社荏原製作所
容積式真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-162401 出願人：株式会社荏原製作所

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