特許

J-GLOBAL ID：200903032879153217

欠陥検出方法

発明者： 鎌田 照己
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117817
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295230
出願日： 1998年04月13日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 被検査対象物の複数の方向に延びる筋状欠陥の検出を、検出装置の構成を複雑化することなく行うことができる欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 被検査対象物の画像を2次元CCDなどにより2次元画像データ化し、その2次元画像を斜め方向にスキャンすることによって、縦横の筋状の欠陥を同時に共通のアルゴリズムで検出する。その際、2次元画像データを一筆書きのジグザク形状に斜めにスキャンすることにより、2次元画像データの領域全体にかかるような大きな周期の濃度むらに影響されることなく欠陥検出を行うことができる。また、2次元画像データの端部部分にデータを補完することによって信号の急峻な変動を吸収し、欠陥の出現周期を一定にし検出精度を向上させることができる。また、1スキャン毎に読み込まれる1次元の輝度信号の長さが筋状欠陥の最短長程度となるように、2次元画像データの領域を小領域のブロックに分割することで、全領域の極一部に生じたような短い筋状欠陥に対しての欠陥検出精度を向上することができる。

請求項（抜粋）：

被検査対象物の軸方向に対してある特定の角度を成す方向に沿って当該検査対象物表面の輝度信号を順次取り込み、この輝度信号に基づいて前記軸方向に対して平行方向及び直交方向に延びる筋状欠陥を検出するようにしたことを特徴とする欠陥検出方法。