特許
J-GLOBAL ID：200903032880477972
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099318
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288527
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 圧電体からなる音叉型振動子1を用いて角速度を検出する角速度センサにおいて、センサの温度ドリフトを低減する。【解決手段】 振動子1は、一対のアーム部4、5と各アーム部4、5の一端を連結する連結部6とを有する略コ字型の音叉形状に形成されている。この振動子1は、連結部6の略中央からアーム部4、5の反対方向に延びる柱部3によって支持されている。ここで、柱部3の幅wはアーム部4、5の幅w0 の0.5倍以上1.0倍以下であり、柱部3の厚さtはアーム部4、5の厚さt0 の0.75倍以上としている。
請求項（抜粋）：
一対の四角柱状のアーム部(4、5)と各アーム部(4、5)の一端を連結する連結部(6)とを有する略コ字型音叉形状に形成された圧電体からなる振動子(1)と、前記連結部(6)の略中央から前記アーム部(4、5)と反対方向に延び前記振動子(1)を支持する柱部(3)と、前記振動子(1)において前記両アーム部(4、5)と前記連結部(6)とが同一平面を形成する第1電極取付面(X1、X2)のうち、一側の面(X1)に設けられた駆動電極(101、102)および他側の面(X2)に設けられた共通電極(109)と、前記アーム部(4、5)のうち前記アーム部(4、5)の配列方向であるy軸と直交する第2電極取付面(Y1、Y2)に設けられた角速度検出電極(107、108)とを備え、前記アーム部(4、5)は、前記第1電極取付面(X1、X2)と直交するx軸方向に分極処理されており、前記駆動電極(101、102)と前記共通電極(109)との間に電圧を印加して、前記アーム部(4、5)を前記y軸方向に励振させるとともに、前記振動子(1)の所定軸回りの角速度(Ωz)によって生じる前記アーム部(4、5)の前記x軸方向の振動状態を、前記角速度検出電極(107、108)により検出する角速度センサにおいて、前記柱部(3)の前記y軸方向の幅(w)は、前記アーム部(4、5)の前記y軸方向の幅(w0 )の0.5倍以上1.0倍以下であり、前記柱部(3)の前記x軸方向の厚さ(t)は、前記アーム部(4、5)の前記x軸方向の厚さ(t0 )の0.75倍以上であることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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