特許

J-GLOBAL ID：200903032882667655

画像除去方法、及びそれに用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類

発明者： 木原 康夫 ,  並河 亮 ,  相澤 馨 ,  下段 秀明 ,  中沢 準
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-292612
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151298
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】 半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種微細加工部品の製造時における微細パターンを形成する工程において、レジストからなる画像(レジストパターン上に残したレジスト)を除去する方法、及びこれに用いる硬化型感圧接着剤や接着シート類を提供する。【構成】 レジスト材からなる画像が存在する物品上に、塩基性の硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、接着剤の硬化後に、接着シート類とレジスト材とを一体に剥離する方法であり、塩基性の硬化型感圧性接着剤として例えば、感圧接着性ポリマーに、不揮発性アミン系化合物や分子内に少なくとも1個の反応性官能基を有するアミン系化合物を含有させた接着剤、あるいはアミン系モノマーを共重合してなる接着剤などを用いることができる。

請求項（抜粋）：

レジスト材からなる画像が存在する物品上に、塩基性の硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離することを特徴とする画像除去方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/42