特許
J-GLOBAL ID：200903032883618020
平面度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-348702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102030
出願日： 1991年12月05日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 被測定面上にレーザ光による正確な基準平面を形成し、被測定面の平面度を精度よく測定する。【構成】 レーザ管11からのレーザ光Rを直角に偏向させて回転するペンタプリズム14によって被測定面1A上にレーザ光Rによる基準平面を形成する。そして、レーザ光Rを被測定面1A上に載置されたコーナーキューブ16に入射させ、該コーナーキューブ16は基準平面と被測定面1Aとの間の寸法に応じて平行に変位させた反射光を反射する。受光位置検出器18はコーナーキューブ16からの反射光を検出し、この受光位置の変化から被測定面1Aの平面度を測定する。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、回転軸が該レーザ光源から出射されるレーザ光の光路上に位置して被測定面上に回転可能に設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を直角に偏向させて該回転軸に垂直な基準平面を形成するペンタプリズムと、前記被測定面上に移動可能に設けられ、該ペンタプリズムからのレーザ光を前記基準平面と被測定面との間の高さ寸法に応じて平行に変位させて該ペンタプリズムに向けて反射する反射体と、該反射体からペンタプリズムを介して入射したレーザ光を受光し、受光位置の変位から前記被測定面の平面度を検出する受光部とから構成してなる平面度測定装置。
引用特許：
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