特許

J-GLOBAL ID：200903032883743800

薄膜形成装置

発明者： 町田 克之 ,  久良木 億 ,  井関 出 ,  上山 勉
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社 ,  大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319269
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135634
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 大面積の基板に対して表面が平坦で均一な膜厚の薄膜を容易にかつ低コストで転写する。【解決手段】 第1、第2のプレート4,5を上下に対向配置し、その対向面にウエハ6とシートフイルム7をそれぞれ装着し、第1のプレート4を傾斜補正機構9によって回動可能に保持する。傾斜補正機構9を、第1のプレート4の下面中央またはウエハ6の表面中央を中心Oとする球面31を有する凹プレート23と、上面が前記中心Oを中心とする球面33に形成された凸プレート24とで構成し、これら両プレート23,24を圧縮コイルばね26によって連結し、凹プレート23をチャンバー3に上下動自在に取付ける。第1のプレート4の上端に設けた球面部15を凹プレート23と凸プレート24の間にボール35を介して介装する。加重モータ20によって第2のプレート5を上昇させてシートフィルム7をウエハ6に押し付けてフィルム表面に形成された薄膜をウエハ6に転写する。

請求項（抜粋）：

互いに相対移動自在に対向して配設され、いずれか一方のプレートの対向面に基板が装着され、他方のプレートの対向面に薄膜を有するシートフィルムが装着される第1、第2のプレートと、前記第1のプレートまたは第2のプレートの少なくともいずれか一方を移動させて前記基板と前記シートフィルムを所定の時間押し付けて前記薄膜を基板に転写する加重機構と、互いに対向する面に前記第1のプレートの対向面中央または基板が装着される場合はその表面中央を中心とする球面がそれぞれ形成された凸プレートおよび凹プレートと、これらのプレートを互いに接触する方向に付勢する付勢手段を有して前記第1のプレートを回動可能に保持し、前記基板と前記薄膜が全面にわたって等しい圧力で押し付けられるように前記第1のプレートの第2のプレートに対する傾きを自動的に補正する傾斜補正機構とを備えたことを特徴とする薄膜形成装置。

IPC (2件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/316 B ,  H01L 21/31 Z

Fターム (13件)：

5F045AD08 ,  5F045AE23 ,  5F045AF01 ,  5F045BB02 ,  5F045BB08 ,  5F045EB02 ,  5F045EK07 ,  5F045HA16 ,  5F045HA23 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-226374   出願人：日本電信電話株式会社
• プレス装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-059296   出願人：本田技研工業株式会社