特許

J-GLOBAL ID：200903032903557413

コンプトン散乱による板厚測定装置

発明者： 若元 郁夫 ,  手島 和範 ,  小林 義雄 ,  柳沢 栄一 ,  井手上 和夫
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083340
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281339
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 コンプトン散乱を利用して板厚を測定する場合に、板厚増加による放射線強度の飽和に影響されることなく、正確に板厚測定をする。【解決手段】 X線源1から板2に斜めに一次X線3を照射すると、一次X線3が板2を透過することにより、二次X線4が発生する。X線検出器5の検出面5aには、格子上スリット6が配置されている。このため、二次X線4のうち、板の厚さ方向(e〜f)で発生して検出面5aに向かい直進する成分のみが、格子上スリット6を透過してX線検出器5にて検出される。信号処理装置7は、X線検出器5で検出した検出幅(位置e〜fの距離に対応する)と、入射角度θを基に、板2の板厚Tを演算する。

請求項（抜粋）：

測定対象物である板に向けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により発生した二次放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線検出器の検出面に配置されており、前記板の厚さ方向から発生して前記検出面に向かって真っ直ぐに進行してくる二次放射線のみを通過させるようにスリットが形成されているスリット部材と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の分布幅と、前記一次放射線が板に入射するときの入射角とを基に、前記板の板厚を演算する信号処理装置と、を有することを特徴とするコンプトン散乱による板厚測定装置。

IPC (3件)：

G01B 15/02 ,  G01N 23/20 ,  G21K 1/06

FI (3件)：

G01B 15/02 D ,  G01N 23/20 ,  G21K 1/06 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-082006
  
• 特開平3-059449
  
• X線反射プロファイル測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-123611   出願人：株式会社日立製作所