石英ガラスルツボ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007474
公開番号（公開出願番号）：特開平10-203892
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】シリコン融液中の酸素溶解度を減少させて、これにより育成した単結晶シリコン中の酸素含有量を低減する。【解決手段】石英ガラスルツボ20は非晶質の石英ガラスからなるルツボ本体11の底面と周壁面とが交わるルツボ本体11の内面部分に結晶化ガラス層12が形成される。

請求項（抜粋）：

非晶質の石英ガラスからなるルツボ本体(11)の底面と周壁面とが交わる前記ルツボ本体(11)の内面部分に結晶化ガラス層(12)が形成された石英ガラスルツボ。

IPC (5件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C03B 27/012 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (5件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C03B 27/012 , C30B 29/06 502 B , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (8件)

向上した無転位性能のための表面処理ルツボ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-154336 出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド, ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
単結晶の無転位収量の改善方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-154337 出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド, ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
単結晶育成用石英ルツボ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-091433 出願人：新技術事業団, 碇敦, 泉妻宏治, 川西荘六, 十河慎二, 佐々木斉

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