特許
J-GLOBAL ID：200903032924060985
対物レンズ支持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-300234
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126279
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ピッチング共振に対して適切な柔軟性を備え、対物レンズの光軸方向の変位による変形を抑制可能な固定基板を実現し、制振効果が高く、ダイナミックタンジェンシャルチルトの小さい対物レンズ支持装置の提供。【解決手段】 基板1のそれぞれの弾性支持部材対との各接続部Dが、YZ平面に平行であり、かつ4辺がそれぞれY軸およびZ軸に平行であるような仮想四辺形のY軸方向に沿った外側または内側に配置され、各接続部Dは、仮想四辺形の各頂点近傍からほぼY軸方向に延在するくびれ部13と、くびれ部13に連続し、かつほぼZ軸方向に延在してそれぞれの先端が互いに対向配置される自由端部15とを備え、くびれ部13からY軸方向にそった所定領域12において支持部材に対して拘束、固定する。
請求項（抜粋）：
XYZ直交座標系において、Z軸方向を光軸とする対物レンズを有する可動部に、Z軸方向に隣接してほぼX軸方向に延在する対構成の弾性支持部材のそれぞれの一端側を接続し、これら弾性支持部材のそれぞれの他端側を基台側に保持させる基板に接続して、前記可動部を前記弾性支持部材を介してZ軸方向およびY軸方向に移動可能に懸架支持する対物レンズ支持装置において、上記基板のそれぞれの弾性支持部材対との各接続部が、YZ平面に平行であり、かつ4辺がそれぞれY軸およびZ軸に平行であるような仮想四辺形のY軸方向に沿った外側または内側に配置され、前記各接続部は、前記仮想四辺形の各頂点近傍からほぼY軸方向に延在するくびれ部と、そのくびれ部に連続し、かつほぼZ軸方向に延在してそれぞれの先端が互いに対向配置される自由端部とを備えるとともに、少なくとも上記くびれ部からY軸方向に沿った所定領域において前記支持部材に対して拘束、固定されており、上記可動部にZ軸方向への移動力が作用した際に、その移動力の前記基板までの距離に応じて上記弾性支持部材の他端側との接続部に加わる回転モーメントM1と、前記移動力により弾性支持部材に生じる引張力もしくは圧縮力に基づいて、弾性支持部材の他端側との接続部に加わる回転モーメントM2との方向が相互に逆になるように構成したことを特徴とする対物レンズ支持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5D118AA13
, 5D118AA22
, 5D118AA23
, 5D118BA01
, 5D118BB01
, 5D118BB02
, 5D118BF02
, 5D118BF03
, 5D118FA29
, 5D118FB03
, 5D118FB13
, 5D119AA35
, 5D119BA01
, 5D119JC04
