特許
J-GLOBAL ID：200903032929765430
角速度センサの共振周波数調整装置及び共振周波数調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷 照一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323097
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160479
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 振動伝達可能に接続された励振用振動片と検出用振動片とからなり、コリオリ力を利用して角速度を検出する角速度センサにおいて、励振用振動片の励振方向の共振周波数と検出用振動片の振動検出方向の共振周波数の調整を適切に行って、角速度センサの生産効率を上げる。【解決手段】 励振用振動片及び検出用振動片の両共振周波数の差が所定範囲内に入るように、両振動片のうちの一方の振動片に金属を蒸着して質量を変更する(ステップ112,122)。この質量の変更後、同変更前からの両共振周波数の変化量を比較して、両共振周波数の変化量のうちの他方の共振周波数の変化量が一方の共振周波数の変化量より大きいとき周波数差の調整を中断する(ステップ114〜118,124〜128)。これにより、周波数調整不能な場合に、同周波数調整のために延々と続く作業を所定のルールのもとに停止させることができる。
請求項（抜粋）：
振動伝達可能に接続された励振用振動片と検出用振動片とからなり、コリオリ力を利用して角速度を検出する角速度センサの共振周波数調整装置であって、前記励振用振動片の励振方向の共振周波数と前記検出用振動片の振動検出方向の共振周波数との周波数差を所定範囲内に調整するための角速度センサの共振周波数調整装置において、前記励振用振動片及び前記検出用振動片のうちの一方の振動片の質量を変更して前記周波数差が所定範囲内になるように前記両共振周波数のうちの一方の共振周波数を変化させる第1手段と、前記第1手段による質量の変更後に同変更前からの前記両共振周波数の変化量を比較して同両共振周波数の変化量のうちの他方の共振周波数の変化量が前記一方の共振周波数の変化量より大きいとき前記周波数差の調整を中断する第2手段とを備えた角速度センサの共振周波数調整装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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