特許
J-GLOBAL ID：200903032930994086
曲面の測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-251315
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087542
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】BTS型やKTS型のトロイダル面はもちろん、種々の回転軸を持つ非球面について、面精度、面形状の測定ができる方法及び装置を提案することを目的としている。【構成】光源1と、対物レンズ6と、任意の曲線ABを回転軸12周りに回転して形成した被測定面7aと、参照面6aと、被測定面7aを回転軸12と平行に走査する併進台13を有し、光源1の可干渉光を対物レンズ6で回転軸12上に集束するように照射し、干渉縞をエリアセンサ10上に結像させる。さらに、被測定面7aを回転軸12と平行に走査し、面全体について求めた干渉縞の軌跡から、周辺光をケラレることのない対物レンズの口径を求める。
請求項（抜粋）：
同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、これら両面から反射される参照波と被検波とを重畳して干渉縞を作り面精度を測定する方法において、任意の曲線を回転軸の周りに回転して形成した被測定面に、前記可干渉光を対物レンズによって該回転軸上に集束するように照射して、干渉縞を形成する工程と、可干渉光の集束点が前記回転軸に沿って移動するように、光源と被測定面との間に相対的な走査をさせ、被測定面全体について、次々と干渉縞を形成する工程と、対物レンズの結像面における干渉縞の軌跡を求め、該軌跡から対物レンズの所要の入射瞳径を求める工程とからなることを特徴とする曲面の測定方法。
IPC (2件)：
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