特許

J-GLOBAL ID：200903032931467934

フリツプチツプのマーキング方法

発明者： 白畑 久 ,  目黒 謙
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194605
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041399
出願日： 1991年08月05日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】バンプ電極を備えるフリップチップをその表面を下にしてフェースダウン実装する際に向きや種類を間違えないよう、実装の際に上側になる裏面に簡単な工程で実装時の温度によっても消えないマーキングを施す。【構成】集積回路を作り込んだウエハの裏面側に耐熱性樹脂のマーキングを細かな単位パターンの二次元の繰り返し模様で施した上で、表面側にバンプ電極を電解めっき法によって成長させ、最後にウエハを切断することにより裏面側にマーキングを備えたフリップチップに単離する。

請求項（抜粋）：

表面側にバンプ電極を備えフェースダウン実装されるフリップチップの裏面側にマーキングを施す方法であって、フリップチップのバンプ電極以外の集積回路部分が作り込まれたウエハの裏面側の全面に耐熱性樹脂からなるマーキングを施す工程と、バンプ電極をウエハの表面側に突設する工程と、このウエハを切断してフリップチップに単離する工程とを含み、マーキングパターンが細かな単位パターンの二次元繰り返し模様とされたことを特徴とするフリップチップのマーキング方法。