金属炭化物被覆超砥粒の製造方法、金属炭化物被覆超砥粒および超砥粒工具

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141309
公開番号（公開出願番号）：特開2001-322067
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
要約：

【要約】【課題】金属炭化物の超砥粒からの剥離を防止することができ、砥粒層を形成するための焼結時において熱の影響による超砥粒の劣化を防止することが可能な金属炭化物被覆超砥粒とその製造方法を提供し、工具寿命の長い超砥粒工具を提供する。【解決手段】反応室内の温度を所定の温度まで上昇させ、反応室内の雰囲気を減圧した状態で反応室内に超砥粒を保持した後、少なくとも金属を含む原料ガスを導入し、原料ガスを反応室内に所定の時間保持し、反応室内を排気し、減圧した状態にする。原料ガスの導入、保持および排気のステップを繰返して、超砥粒の表面を金属炭化物で被覆する。金属炭化物被覆超砥粒は、超砥粒と超砥粒の表面を被覆するように形成された炭化チタン膜とを備え、炭化チタン膜に含まれる炭化チタンの結晶粒の平均粒径が10nm以上、30nm以下である。

請求項（抜粋）：

超砥粒の表面を金属炭化物で被覆する金属炭化物被覆超砥粒の製造方法において、反応室内の温度を所定の温度まで上昇させ、前記反応室内の雰囲気を減圧した状態で、前記反応室内に超砥粒を保持する第1のステップと、超砥粒を保持する前記反応室内に、少なくとも金属を含む原料ガスを導入する第2のステップと、前記原料ガスを前記反応室内に所定の時間保持する第3のステップと、前記原料ガスを保持するステップの後、前記反応室内を排気し、減圧した状態にする第4のステップとを備え、前記第2、第3および第4のステップを繰返すことを特徴とする、金属炭化物被覆超砥粒の製造方法。

IPC (5件)：

B24D 3/00 340 , B24D 3/00 330 , B24D 5/12 , C09K 3/14 550 , C09K 3/14

FI (5件)：

B24D 3/00 340 , B24D 3/00 330 D , B24D 5/12 Z , C09K 3/14 550 C , C09K 3/14 550 Z

Fターム (11件)：

3C063AA02 , 3C063AB03 , 3C063BA02 , 3C063BB02 , 3C063BB15 , 3C063BC02 , 3C063BC03 , 3C063CC01 , 3C063EE31 , 3C063FF08 , 3C063FF22

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