特許
J-GLOBAL ID：200903032935044442
走査型電子顕微鏡及び微細パターン測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227547
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052642
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】すべての測定点においてチャージアップの影響を受けない安定した測定を可能とする。【解決手段】加速電圧制御用電源21と、加速電圧制御用電源21により設定された加速電圧で電子ビーム1’を放出する電子銃1と、電子銃1から放出された電子ビーム1’でサンプル11表面を走査する電子光学系と、サンプル11に接続され、サンプル11表面近傍にリターディング電界をかけるリターディング回路12と、サンプル11の表面電位を測定する電位計プローブ9と、電位計プローブ9により測定された表面電位とあらかじめ設定された表面電位に基づいて加速電圧制御用電源21にフィードバックをかけるフィードバック演算回路30から構成される。
請求項（抜粋）：
減速電界型カラムを搭載し、かつ試料の表面電位を測定する表面電位測定部と、前記表面電位測定部を用いて検出された表面電位に基づいて前記減速電界型カラムにフィードバックをかけるフィードバック制御部とを具備してなることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 B
, H01L 21/30 502 W
5C033UU04
, 5C033UU05
, 5C033UU08
