特許
J-GLOBAL ID：200903032937568759
エッチング加工用処理液の管理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
今井 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-216108
公開番号（公開出願番号）：特開平10-046365
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【目的】 微細加工が可能で、品質の優れたエッチング加工製品を工業的規模で生産性良く安定製造することができる金属のエッチング加工手段を確立する。【構成】 金属のエッチング加工用処理液を構成する成分のうち化学反応により過度に消費される成分(例えば酸化により過度に分解消耗する成分)を特定し、処理液中におけるその濃度が所定範囲に維持されるように該成分を好ましくは連続的に補給し続ける如くにエッチング加工用処理液を管理する。この場合、処理液の酸化還元電位の変化に応じて前記補給成分の補給量を調節するか、予め“処理液の酸化還元電位”と“補給成分の消費速度”との関係を求めておき、この関係に基づいて補給成分の補給量を決定するのが良い。また、補給成分の補給はエッチング処理の間中続けるのが良いことは言うまでもないが、エッチング処理を一旦停止していた処理液に対しても行うことができる。
請求項（抜粋）：
金属のエッチング加工用処理液を構成する成分のうち化学反応により過度に消費される成分を特定し、処理液中におけるその濃度が所定範囲に維持されるように該成分を補給し続けることを特徴とする、エッチング加工用処理液の管理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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