特許

J-GLOBAL ID：200903032939755491

単結晶引上装置用輻射スクリーン

発明者： 山崎 拓 ,  蓑輪 信昭 ,  中川 隆夫 ,  山下 美穂子 ,  橘 正晴
出願人/特許権者： 東芝電興株式会社 ,  株式会社アクロス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265683
公開番号（公開出願番号）：特開平8-119788
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】【目的】この発明は、単結晶引上装置でチョクラルスキー法によって単結晶の引上を行う際に単結晶を取囲む輻射スクリーンとして、これがSiOガスと接触しても殆ど珪化されず、輻射スクリーンからSiCなどの粒子が融液の中に脱落しないようにしたものを安価に得ようとするものである。【構成】単結晶引上装置でチョクラルスキー法によって単結晶の引上を行う際に単結晶を取囲む輻射スクリーンであって、下端開口部が融液面に近接し上方にいくに従って外向に拡大した逆円錐状の環状部と、この環状部の上端に設けられルツボ上部周辺を覆うフランジ部を有し、かつこの輻射スクリーンが炭素繊維を20重量%以上含有した炭素繊維強化炭素材であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

単結晶引上装置でチョクラルスキー法によって単結晶の引上を行う際に単結晶を取囲む輻射スクリーンであって、下端開口部が融液面に近接し上方にいくに従って外向に拡大した逆円錐状の環状部と、この環状部の上端に設けられルツボ上部周辺を覆うフランジ部を有し、かつこの輻射スクリーンが炭素繊維を20重量%以上含有した炭素繊維強化炭素材であることを特徴とする単結晶引上装置用輻射スクリーン。

IPC (3件)：

C30B 15/22 ,  C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502