セラミックヒータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安富康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336572
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141159
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】抵抗値の調整が短時間で行われ、生産性よく製造されているため比較的安価となり、また、精度よく抵抗値の調整が行われているため、加熱面の温度均一性に優れたセラミックヒータを提供する。【解決手段】円板形状のセラミック基板の表面に複数の回路からなる抵抗発熱体が形成されたセラミックヒータであって、少なくとも一の回路を構成する抵抗発熱体は、同心円の一部を描くように繰り返して形成された円弧からなることを特徴とするセラミックヒータ。

請求項（抜粋）：

円板形状のセラミック基板の表面に複数の回路からなる抵抗発熱体が形成されたセラミックヒータであって、少なくとも一の回路を構成する抵抗発熱体は、同心円の一部を描くように繰り返して形成された円弧からなることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (8件)：

H05B 3/10 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/66 , H05B 3/16 , H05B 3/20 328 , H05B 3/20 393 , H05B 3/68

FI (8件)：

H05B 3/10 A , H01L 21/205 , H01L 21/66 B , H05B 3/16 , H05B 3/20 328 , H05B 3/20 393 , H05B 3/68 , H01L 21/302 B

Fターム (60件)：

3K034AA02 , 3K034AA21 , 3K034AA22 , 3K034AA34 , 3K034BB06 , 3K034BB14 , 3K034BC04 , 3K034BC12 , 3K034BC24 , 3K034CA02 , 3K034CA22 , 3K034CA26 , 3K034DA04 , 3K034DA08 , 3K034EA07 , 3K034HA01 , 3K034HA10 , 3K034JA02 , 3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB04 , 3K092QB17 , 3K092QB18 , 3K092QB32 , 3K092QB43 , 3K092QB44 , 3K092QB45 , 3K092QB60 , 3K092QB69 , 3K092QB74 , 3K092QB76 , 3K092QC02 , 3K092QC07 , 3K092QC42 , 3K092QC52 , 3K092QC62 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092RF17 , 3K092RF22 , 3K092UA05 , 3K092UA17 , 3K092UA18 , 3K092VV03 , 3K092VV18 , 3K092VV22 , 4M106AA01 , 4M106CA60 , 4M106DD30 , 4M106DH44 , 4M106DH56 , 4M106DJ02 , 5F004AA01 , 5F004AA16 , 5F004BB26 , 5F004BB29 , 5F045BB02 , 5F045BB08 , 5F045EK09

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