特許
J-GLOBAL ID:200903032943904493
光学部品の面合わせ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長門 侃二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-008164
公開番号(公開出願番号):特開平7-218745
出願日: 1994年01月28日
公開日(公表日): 1995年08月18日
要約:
【要約】【目的】 光学部品の面合わせの際に光学部品相互間で接触面がずれることがなく、接触面間の摩擦力が大きくても、装置自体に応力歪を発生させることなく光学部品相互を適正に面合わせさせることが可能な光学部品の面合わせ装置を提供する。【構成】 光軸と接触面を有する第一及び第二の光学部品相互を接触面で突き合わせて面合わせする光学部品の面合わせ装置。第一の光学部品1を保持する第一ステージ10と第二の光学部品2を保持する第二ステージ20とを備え、第一ステージあるいは第二ステージの一方は、Z軸に沿ったステージの移動を案内するガイド11aを有し、第一ステージあるいは第二ステージの他方は、光学部品をZ軸に直交するX,Y軸のそれぞれに関して少なくとも回動、かつ、固定自在に支持する第一及び第二の支持手段22a,23aを有し、第一ステージあるいは第二ステージは、第一及び第二の光学部品相互を接触面で突き合わせたときの応力によりX,Y軸のそれぞれに沿って移動自在である。
請求項(抜粋):
光軸と接触面を有する第一及び第二の光学部品相互を前記接触面で突き合わせて面合わせする光学部品の面合わせ装置において、前記第一の光学部品を保持する第一ステージと前記第二の光学部品を保持する第二ステージとを備え、前記第一ステージあるいは第二ステージの一方は、Z軸に沿ったステージの移動を案内するガイドを有し、前記第一ステージあるいは第二ステージの他方は、前記光学部品を前記Z軸に直交するX,Y軸のそれぞれに関して少なくとも回動、かつ、固定自在に支持する第一及び第二の支持手段を有し、前記第一ステージあるいは第二ステージは、前記第一及び第二の光学部品相互を前記接触面で突き合わせたときの応力によりX,Y軸のそれぞれに沿って移動自在であることを特徴とする光学部品の面合わせ装置。
IPC (2件):
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