特許

J-GLOBAL ID：200903032950638650

飛散防止カップの洗浄方法及び塗布装置

発明者： 左成 卓也
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195481
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033467
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】 低下した飛散防止カップ内の温度を温調気体で迅速に回復させることにより、付着した塗布液に起因する不具合を防止しつつも洗浄処理に起因して塗布処理の再現性が低下することを防止できる。【解決手段】 飛散防止カップ3内の排気圧を調整する流量調節弁5を備えるとともに、カップ内面に温調気体を噴射する第1エアノズル21と、上方から温調気体を供給する第2エアノズル22とを備える。洗浄液を供給する際には、流量調節弁5を調整し、ダウンフローを取り込むとともに第2エアノズル22から温調気体を供給して、塗布時より多くの温調気体を導入する。その後、カップ内面に第1エアノズル21から温調気体を噴射して揮発を促す。これにより雰囲気温度の迅速な回復を図る。

請求項（抜粋）：

塗布時に基板から飛散し、飛散防止カップの内面に付着した塗布液に洗浄液を供給して洗浄する飛散防止カップの洗浄方法において、一定温度に調整された温調気体を塗布時よりも多く飛散防止カップ内に導入するようにしたことを特徴とする飛散防止カップの洗浄方法。

IPC (7件)：

B05C 11/08 ,  B05D 3/10 ,  B08B 3/02 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/31

FI (7件)：

B05C 11/08 ,  B05D 3/10 F ,  B08B 3/02 Z ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/31 A ,  H01L 21/30 564 C