特許
J-GLOBAL ID：200903032950914372
角速度検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-140370
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332383
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 簡易な電極構成で高精度の角速度検出を行う角速度検出装置を提供する。【解決手段】 振動体4に対向する駆動電極5a,5bに駆動信号を印加することにより、振動体4をX軸方向に振動させる。ここで、駆動信号には振動体4が振動しない程度の高周波信号が重畳させており、この高周波信号は振動体4の実際の振動変位に応じて変調される。変調された高周波信号を検出すれば、振動体4の実際の振動変位を検出することができ、振動変位検出用の電極が不用となる。
請求項（抜粋）：
隣接する駆動電極及び可動電極から構成されるコンデンサに印加される駆動信号によって前記駆動電極と前記可動電極との間に働く静電引力により、前記可動電極を所定方向に振動させ、被検出体の角速度に応じて前記可動電極に働くコリオリの力を検出することによって前記被検出体の角速度を検出する角速度検出装置において、所定電位と前記コンデンサの一端との間に前記可動電極の振動が追従しないような高周波信号を前記駆動信号に重畳して印加し、前記可動電極の前記所定方向の変位に応じて前記コンデンサから出力される出力信号が変調されるとともに前記出力信号から前記駆動信号が除去されるように前記コンデンサの他端に接続される回路を設定し、変調された前記出力信号を用いて前記可動電極の前記所定方向の変位を検出することを特徴とする角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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