特許

J-GLOBAL ID：200903032957165928

ミラー装置

発明者： 鳥海 正樹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323049
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157957
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【構成】本発明のミラー装置は、ミラーの背部の重力作用方向に沿って多段に係止部を設け、これらの係止部をミラー保持部に設けられた係合部により各別に支持することにより、ミラーの荷重を各係合部により分散して支持するようにしたものである。【効果】このような本発明のミラー装置は、ミラーの荷重が100kg以上であっても、自重によって生じる垂直方向につぶれるような歪の発生を防止することができる。これにより、ミラーの鏡面部の0.03μmP-V以下の形状精度を維持することができる。その結果、このミラー装置を用いたリソグラフィープロセスにおける露光精度が著しく向上し、製品歩留の改善に寄与するところ大である。

請求項（抜粋）：

一方の主面に鏡面が形成され且つ他方の主面に重力作用方向に沿って多段に係止部が設けられたミラーと、上記係止部に各別に係合して上記ミラーを支持する係合部を有するミラー保持部2とを具備することを特徴とするミラー装置。