特許
J-GLOBAL ID：200903032962019883
β-ジケトネート錫溶液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023067
公開番号（公開出願番号）：特開平6-234779
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 有機錫化合物を原料としてCVD法によって透明電極薄膜などを成膜する際に、製造工程の安定化を図り、生産性の向上と製品品質の保証を得ることができるようにした有機錫化合物溶液を提供する。【構成】 β-ジケトネート錫(Sn(R1-CO-CH-CO-R2)2、(ただし、R1,R2は、CnH(2n+1)(n=1〜10)のアルキル基を示す)を、酸塩基両性を示す両性有機溶媒であって水酸基を有する有機溶媒、両性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、プロトンを放出する性質が殆どない非プロトン性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、非プロトン性有機溶媒であって疎プロトン性を示す有機溶媒、および非プロトン性有機溶媒であって不活性を示す有機溶媒からなる群からえらばれる少なくとも1種からなる溶媒に溶解する。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)で表されるβ-ジケトネート錫を、Sn(R1-CO-CH-CO-R2)2 ...... (I)(ただし、R1,R2は、CnH(2n+1)(n=1〜10)のアルキル基を示す)酸塩基両性を示す両性有機溶媒であって水酸基を有する有機溶媒、両性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、プロトンを放出する性質が殆どない非プロトン性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、非プロトン性有機溶媒であって疎プロトン性を示す有機溶媒、および非プロトン性有機溶媒であって不活性を示す有機溶媒からなる群からえらばれる少なくとも1種からなる溶媒に溶解してなることを特徴とするβ-ジケトネート錫溶液。
IPC (2件)：
引用特許：
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