特許

J-GLOBAL ID：200903032967213122

膜厚検査装置

発明者： 神津 尚士
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105430
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292207
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】本発明は、広い面積の膜厚分布の情報を簡単に得られる膜厚検査装置を提供する。【解決手段】白色光源21の光路中に挿入される干渉波長の異なる第1乃至第3の干渉フィルタ223を順に切り替え、これら干渉フィルタ223より取り出される単色光をレジストなどを塗布した基板27面に照射し、この基板27面の干渉像に応じた反射光量をCCDカメラ29より取り込むとともに、画像処理装置31により各干渉フィルタ223に対応して色指定されたRGBの各カラー信号をCCDカメラ29より取り込んだ反射光量に対応させて生成し、これらRGBのカラー信号を表示部32にて重ね合わせて表示する。

請求項（抜粋）：

光源と、この光源から異なる単色光を取り出す複数の干渉フィルタと、これら干渉フィルタより取り出された単色光が照射される被検査対象面からの反射光量を取り込むとともに、該反射光量より前記各干渉フィルタに対応して色指定されたカラー信号を生成する信号処理手段と、この信号処理手段より生成された前記各干渉フィルタに対応するカラー信号より前記被検査対象面の膜厚分布を表示する表示手段とを具備したことを特徴とする膜厚検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01B 11/06 G ,  H01L 21/66 P

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-057107
  
• 膜厚測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-259479   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開昭60-204136
  
• 特開平2-090008
  

審査官引用 (4件)

• 特開平1-057107
  
• 膜厚測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-259479   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開昭60-204136
  
• 特開平2-090008