特許

J-GLOBAL ID：200903032967960696

真空装置、この真空装置を使用した排気方法および前記真空装置を利用した装置

発明者： 後藤 信朗 ,  豊田 一郎 ,  利根川 裕 ,  伊藤 岳彦 ,  岩村 康弘
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-129497
公開番号（公開出願番号）：特開平9-313919
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】 短時間で簡単に真空容器内を高真空環境にできるようにする。【解決手段】 内部を真空環境に保持する真空容器を備えてなる真空装置であって、水分子を水素分子と酸素分子とに光解離させるTiO2 などのような光触媒材料からなるコーテイング膜4を真空容器1の内面に被覆すると共に、当該コーテイング膜4で水分子を光解離させる波長の光線を照射できる水銀ランプ5を真空容器の内部に設けた。

請求項（抜粋）：

内部を真空環境に保持する真空容器を備えてなる真空装置であって、水分子を光解離させる光触媒材料が前記真空容器の内面に被覆されていることを特徴とする真空装置。

IPC (6件)：

B01J 3/00 ,  B01J 23/02 ,  B01J 23/04 ,  B01J 23/08 ,  B01J 23/20 ,  B01J 35/02

FI (6件)：

B01J 3/00 K ,  B01J 23/02 M ,  B01J 23/04 M ,  B01J 23/08 M ,  B01J 23/20 M ,  B01J 35/02 J