特許
J-GLOBAL ID：200903032969816681
自動視覚検査システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183759
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223532
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 コンピュータにより分析されるディジタル化グレースケール・イメージを生じる照明源を備えた自動化された電子モジュール検査システム。【構成】 2つのビデオ・カメラ24、34を有し、位置決めテーブル11が、各カメラの光軸によりテスト中のモジュール20を整列させて、同じ視野を異なる照明条件下で観察する。カメラ24の暗視野照明22は、非平坦表面を照射する。カメラ34の明視野照明32が、平坦な表面を照射する。平坦面照明光源は、モジュールの回路板へ反射するミラー38を用いて、カメラの光軸に対して視準化される。角度を付した面は、4個のリング・ランプ28を用いて照射される。カメラにより観察されたイメージは、次にイメージ・モデルの属性とイメージ間の差に対する検査プログラムで分析され、このプログラムは光源およびカメラの非均一性の補償、および暗視野照明光源から結果として生じる影の補償を行う。
請求項（抜粋）：
電子モジュールの検査を行う装置において、前記検査中前記モジュールの位置決めを行う手段と、前記モジュールを照射するため該モジュール上方の前記位置決め手段に従って配置される第1の光源手段と、前記第1の光源手段の上方に配置され、該第1の光源からの反射光の強さを検出して第1のイメージを得る第1の検出手段と、前記モジュールを照射するため該モジュール上方の前記位置決め手段に従って配置される第2の光源手段と、前記第2の光源手段の上方に配置され、該第2の光源からの反射光の強さを検出して第2のイメージを得る第2の検出手段と、前記第1のイメージを、前記第1の光源手段および前記第1の検出手段から結果として生じる不均一性について補償し、前記第2のイメージを、前記第2の光源手段および前記第2の検出手段から結果として生じる不均一性について補償する処理手段と、前記処理手段に含まれて、前記第1のイメージおよび前記第2のイメージにおける2次元の強さの転換を行って前記モジュールの3次元特徴を確立する手段と、前記処理手段に含まれて、前記3次元特徴および前記反射光の強さを分析して前記モジュールの状態を判定する手段と、を設けてなる検査装置。
IPC (2件)：
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