特許
J-GLOBAL ID：200903032969893600
分子線結晶成長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185296
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009098
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【構成】 既存の結晶成長用基板の搬送機構を利用して、分子線材料の入った材料容器5を成長室内へ移送し、マニピュレータ7にセットする。そしてるつぼ9を材料容器5に近づけ、分子線材料を材料容器5の穴より加熱溶出して、るつぼ9内に補給する。【効果】 分子線材料毎に複雑な補給機構を設ける必要がなくなり、分子線結晶成長装置全体を小さくすることができ、装置の設計上の自由度が増す。
請求項（抜粋）：
被処理基板を搭載した基板ホルダを成長室内の加熱機構を有する保持部に設置し、結晶成長を行なう分子線結晶成長装置において、上記保持部に設置可能な構造を持つ分子線材料容器と、上記分子線材料容器を成長室内に搬送配置する搬送機構と、るつぼを上記分子線材料容器近くまで移動させる移動機構とを備え、上記分子線材料の補給は、上記搬送機構により上記保持部に搬送配置した上記分子線材料容器中の分子線材料を吐出させて、上記分子線材料容器近くに移動させた上記るつぼ内に充填することにより行うことを特徴とする分子線結晶成長装置。
IPC (3件)：
C30B 23/08
, C23C 14/32
, H01L 21/203
