特許

J-GLOBAL ID：200903032977694137

金属薄板に対する連続薄膜形成方法

発明者： 緒方 順一 ,  押田 栄二 ,  林 宏優
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-043809
公開番号（公開出願番号）：特開平5-239644
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】膜質のばらつきが少なく、良好な薄膜を形成することができる金属薄板に対する連続薄膜形成方法を提供することを目的とする。【構成】金属薄板コイルから巻出された金属薄板を予備加熱し、予備加熱された金属薄板に対しプラズマによる前処理を行い、次いで金属薄板に薄膜を形成し、この金属薄板を巻取る。これらの工程を真空状態で連続的に行い、連続的に金属薄板上に薄膜を形成する。この場合に、予備加熱処理は、予備加熱室の圧力が5×10-3Torr以下であり、加熱温度T(°C)と、加熱保持時間t(分)とが、T+150t>325の関係を満足する条件で実施される。

請求項（抜粋）：

金属薄板コイルから巻出された金属薄板を予備加熱する工程と、予備加熱された金属薄板に対しプラズマによる前処理を行なう工程と、金属薄板に薄膜を形成する工程とを有し、これら工程を連続的に行う薄膜形成方法であって、前記予備加熱工程は、予備加熱室の圧力が5×10-3Torr以下であり、加熱温度T(°C)と、加熱保持時間t(分)とが、T+150t>325の関係を満足する条件で実施されることを特徴とする金属薄板に対する連続薄膜形成方法。

IPC (2件)：

C23C 14/56 ,  C23C 14/02