特許
J-GLOBAL ID：200903032977780793
電界放射型電子銃の安定化方法及び電界放射型電子銃
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
寒川 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274199
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114353
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 電子顕微鏡、電子ビーム露光装置、電子ビーム検査装置等に使用される電界放射型電子銃の放射電流安定化方法及びその方法の実施に使用される電界放射型電子銃に関し、常温の電界放射型電子銃の放射電流を安定化する方法を提供することを目的とする。【構成】 電界放射型電子銃2の陰極3表面に紫外光、レーザ光等の電磁波を照射するか、電子線等の粒子線を照射するか、または、反応性ラジカルを発生するガスを封入して紫外光、レーザ光等の電磁波を照射して反応性ラジカルを発生し、陰極3表面に吸着されている原子または分子を離脱させて放射電流を安定化するように構成する。
請求項（抜粋）：
電界放射型電子銃(2)の陰極(3)表面に紫外光、レーザ光等の電磁波を照射し、前記陰極(3)表面に吸着されている原子または分子を離脱させて放射電流を安定化することを特徴とする電界放射型電子銃の安定化方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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