特許
J-GLOBAL ID：200903032991713470
カセットローディング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110555
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297260
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】半導体製造装置に於いて、ウェーハカセットの搬入を自動化し、パーティクルの混入を防止する。【構成】ローディング室10のカセット搬入搬出口11を閉塞する開閉蓋16にウェーハカセット受載用のステージ21を設け、前記開閉蓋の開閉動作でウェーハカセット9の搬入搬出を行う様構成し、ウェーハカセットを搬入搬出する場合は、開閉蓋に設けられたウェーハカセット受載用のステージにウェーハカセットを載置し、開閉蓋を閉じることでウェーハカセットの搬入を行い、開閉蓋を開くことで搬出を行う。
請求項（抜粋）：
ローディング室のカセット搬入搬出口を閉塞する開閉蓋にウェーハカセット受載用のステージを設け、前記開閉蓋の開閉動作でウェーハカセットの搬入搬出を行う様構成したことを特徴とするカセットローディング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 541
