真空ゲートバルブ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019865
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210246
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】バルブ機構及び窓機構を有する真空ゲートバルブであり、窓機構の寿命短縮及び損傷を防止することが可能であり、しかも窓機構の機能(真空分離、光透過)を充分に発揮させることができる真空ゲートバルブを提供すること。【解決手段】少なくとも、相対的に高真空度の領域と低真空度の領域との間の低真空側に設けられ、低真空度領域の真空度を低下させるか、或いは低真空度領域を大気に開放する際の該領域を隔離することにより、高真空度領域の真空度が低下するのを防止するためのバルブ機構3、4、5と、該バルブ機構に近接して配置され、前記隔離を行わないときに高真空度領域と低真空度領域を分離し、かつ光を透過させる窓機構7と、を有する真空ゲートバルブにおいて、前記バルブ機構3、4、5による前記隔離及びその解除を行う際の動作速度を制御することにより、該バルブ機構の動作による前記窓機構7の損傷を防止する制御機構6を設けたことを特徴とする真空ゲートバルブ。

請求項（抜粋）：

少なくとも、相対的に高真空度の領域と低真空度の領域との間の低真空側に設けられ、低真空度領域の真空度を低下させるか、或いは低真空度領域を大気に開放する際の該領域を隔離することにより、高真空度領域の真空度が低下するのを防止するためのバルブ機構と、該バルブ機構に近接して配置され、前記隔離を行わないときに高真空度領域と低真空度領域を分離し、かつ光を透過させる窓機構と、を有する真空ゲートバルブにおいて、前記バルブ機構による前記隔離及びその解除を行う際の動作速度を制御することにより、該バルブ機構の動作による前記窓機構の損傷を防止する制御機構を設けたことを特徴とする真空ゲートバルブ。

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